КЛЮЧЕВЫЕ ПАРТНЕРЫ ВЫСТАВОЧНОЙ ПРОГРАММЫ ФОРУМА:

меры ширины и периода специальные МШПС-2.0К


Меры ширины и периода специальные МШПС-2.0К№ по Госреестру: 33598-06
Страна производитель: Россия
Наименование и обозначение НД или ТД: Технические условия НИЦПВ.393200.001ТУ

 
 

Назначение и область применения

меры ширины и периода специальные  МШПС-2.0К

Меры ширины и периода специальные  МШПС-2.0К предназначены для передачи размера единицы длины в диапазоне от 10-9 до 10-4 м и калибровки (поверки) оптических ближнего поля, растровых электронных, сканирующих туннельных и атомно-силовых микроскопов и других средств измерений малой длины.

Область применения: микро-, опто-, наноэлектроника, нанотехнология, микромехани-ка, фармацевтика и микробиология, производство полимеров и генная инженерия, создание наноструктурных материалов, оснащения органов государственных и метрологических служб.

Основные технические характеристики

Прибор: меры ширины и периода специальные МШПС-2.0К

Передача размера единицы длины в диапазоне

от 10-9 до 10-4 м

Номинальное значение шага шаговой структуры меры (t)

2,00 мкм

Допустимое отклонение от номинального значения шага шаговой структуры

± 0,05 мкм

Диапазон значений ширины верхнего основания выступов в шаговых структурах меры (bu)

от 10 до 500 нм

Диапазон значений высоты выступов в шаговых структурах меры (h)

от 100 до 1400 нм

Диапазон значений проекции боковой стенки выступа шаговой структуры меры на плоскость нижнего основания выступов шаговой структуры меры (a)

от 75 до 980 нм

Неравномерность ширины верхнего основания выступов в шаговых структурах меры δ (в пределах ширины линии ориентирования)

не более 5 нм

Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения размеров bu, h, δ

± 2 нм

Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения размера a

± 1 нм

Поверка

Поверка проводится в соответствии с разделом "Методика поверки меры" руководства по эксплуатации.

ваш e-mail:

сообщение:


Яндекс.Метрика

Language

Rus Eng

При поддержке

Содействие

Информподдержка

Генеральный информационный партнер: