КЛЮЧЕВЫЕ ПАРТНЕРЫ ВЫСТАВОЧНОЙ ПРОГРАММЫ ФОРУМА:

лазерный интерференционный микроскоп МИМ-310 Электроника


Лазерный интерференционный микроскоп МИМ-310 ЭлектроникаСтрана производитель: Россия

 
 

Назначение и область применения

лазерный интерференционный микроскоп  МИМ-310 Электроника

Назначение микроскопа  МИМ-310 - 3D визуализация и исследование геометрического рельефа, поляризационных и физических свойств (анизотропия, показатель преломления, фазовый состав, механическое напряжение) кристаллических и полупроводниковых наноструктур, нанодинамики их изготовления. 

Применение микроскопа  МИМ-310: 
  • фундаментальные и прикладные исследования в микроэлектронике;
  • технологический и выходной контроль качества микроэлектронной продукции ( в т.ч. контроль качества сверхгладких подложек ИС,контроль топологии ИС на стадии травления, обнаружение дефектов тонких пленок), анализ динамики пьезоэлементов, жидких кристаллов, MEMS;
  • исследование структур, находящихся под прозрачным покрытием ( в толще исследуемого объекта).

Основные технические характеристики

Прибор: лазерный интерференционный микроскоп МИМ-310 Электроника
  1. Оптическое разрешение (X,Y): 10-100 нм; (Z): 0,1 нм.
  2. Уровень собственных шумов: 0,06 нм.
  3. Время получения кадра: 0,3 сек.
  4. Количество активных пикселей: 1280х1024.
  5. Эллипсометр (размер пятна от 100 нм).
  6. Возможность регистрации нанодинамики и записи "нанокино".
  7. Бесконтактность и минимизация воздействия лазерного излучения на исследуемый объект.
  8. Автоматическая настройка и самокалибровка (позволяет быстро интегрировать прибор в технологические линии).

ваш e-mail:

сообщение:


Яндекс.Метрика

Language

Rus Eng

При поддержке

Содействие

Информподдержка

Генеральный информационный партнер: