Новости
11.03.2024
Спешите подать заявку на участие в MetrolExpo-2024...
05.02.2024
Изменены сроки и место проведения MetrolExpo-2024...
02.02.2024
В.В. Путин предложил продлить выставку «Россия» до конца лета...
лазерный интерференционный микроскоп МИМ-310 Электроника
Страна производитель: Россия
|
Назначение и область применения
лазерный интерференционный микроскоп МИМ-310 Электроника
Назначение микроскопа МИМ-310 - 3D визуализация и исследование геометрического рельефа, поляризационных и физических свойств (анизотропия, показатель преломления, фазовый состав, механическое напряжение) кристаллических и полупроводниковых наноструктур, нанодинамики их изготовления.
Применение микроскопа МИМ-310:
Применение микроскопа МИМ-310:
-
фундаментальные и прикладные исследования в микроэлектронике;
-
технологический и выходной контроль качества микроэлектронной продукции ( в т.ч. контроль качества сверхгладких подложек ИС,контроль топологии ИС на стадии травления, обнаружение дефектов тонких пленок), анализ динамики пьезоэлементов, жидких кристаллов, MEMS;
-
исследование структур, находящихся под прозрачным покрытием ( в толще исследуемого объекта).
Основные технические характеристики
Прибор: лазерный интерференционный микроскоп МИМ-310 Электроника
- Оптическое разрешение (X,Y): 10-100 нм; (Z): 0,1 нм.
- Уровень собственных шумов: 0,06 нм.
- Время получения кадра: 0,3 сек.
- Количество активных пикселей: 1280х1024.
- Эллипсометр (размер пятна от 100 нм).
- Возможность регистрации нанодинамики и записи "нанокино".
- Бесконтактность и минимизация воздействия лазерного излучения на исследуемый объект.
- Автоматическая настройка и самокалибровка (позволяет быстро интегрировать прибор в технологические линии).