Новости
16.04.2024
Перенос выставки «MetrolExpo-2024» на осенний период...
11.03.2024
Спешите подать заявку на участие в MetrolExpo-2024...
05.02.2024
Изменены сроки и место проведения MetrolExpo-2024...
меры ширины и периода специальные МШПС-2.0К
№ по Госреестру: 33598-06
Страна производитель: Россия Наименование и обозначение НД или ТД: Технические условия НИЦПВ.393200.001ТУ |
Назначение и область применения
меры ширины и периода специальные МШПС-2.0К
Меры ширины и периода специальные МШПС-2.0К предназначены для передачи размера единицы длины в диапазоне от 10-9 до 10-4 м и калибровки (поверки) оптических ближнего поля, растровых электронных, сканирующих туннельных и атомно-силовых микроскопов и других средств измерений малой длины.
Область применения: микро-, опто-, наноэлектроника, нанотехнология, микромехани-ка, фармацевтика и микробиология, производство полимеров и генная инженерия, создание наноструктурных материалов, оснащения органов государственных и метрологических служб.
Основные технические характеристики
Передача размера единицы длины в диапазоне |
от 10-9 до 10-4 м |
Номинальное значение шага шаговой структуры меры (t) |
2,00 мкм |
Допустимое отклонение от номинального значения шага шаговой структуры |
± 0,05 мкм |
Диапазон значений ширины верхнего основания выступов в шаговых структурах меры (bu) |
от 10 до 500 нм |
Диапазон значений высоты выступов в шаговых структурах меры (h) |
от 100 до 1400 нм |
Диапазон значений проекции боковой стенки выступа шаговой структуры меры на плоскость нижнего основания выступов шаговой структуры меры (a) |
от 75 до 980 нм |
Неравномерность ширины верхнего основания выступов в шаговых структурах меры δ (в пределах ширины линии ориентирования) |
не более 5 нм |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения размеров bu, h, δ |
± 2 нм |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения размера a |
± 1 нм |